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德州市陵城區(qū)安晶環(huán)保設(shè)備有限公司

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發(fā)布時間:2024-11-25 15:41:47   來源:德州市陵城區(qū)安晶環(huán)保設(shè)備有限公司   閱覽次數(shù):9742次   

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負的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題少化。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中選擇性蝕刻氮化物膜時,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發(fā)生少化。因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強于適宜水平時發(fā)生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發(fā)生。以下,對于本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯(lián)劑以及進行更詳細的說明。(a)磷酸本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用。相對于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,推薦為80~90重量%。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下。成都哪家蝕刻液蝕刻液批量定制華星光電用的哪家的蝕刻液?

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內(nèi)嵌觀察窗402通過觀察窗翻折滾輪401內(nèi)嵌入裝置內(nèi)部,工作人員可通過內(nèi)嵌的透明窗對內(nèi)部的制備狀況進行實時查看,從而很好的體現(xiàn)了該裝置的實時性。推薦的,鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9,在進行制備時需要向鹽酸裝罐7內(nèi)倒入一定比例的熱水進行均勻調(diào)和,由于熱水與鹽酸接觸會產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,通過設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護作用。推薦的,裝置底座5的內(nèi)部兩側(cè)緊密焊接有加固支架10,由于制備裝置為一體化裝置,承載設(shè)備較多,質(zhì)量較重,對底座會產(chǎn)生較大的壓力,通過設(shè)置加固支架10,加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu),利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。推薦的,制備裝置主體1的兩端緊密貼合有防燙隔膜11,由于制備裝置在進行制備時會發(fā)熱反應(yīng),使得裝置外殼穩(wěn)定較高,工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險,通過設(shè)置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性。推薦的,高效攪拌裝置2是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12。

推薦的,所述制備裝置主體的兩端緊密貼合有防燙隔膜。推薦的,所述高效攪拌裝置是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,內(nèi)部頂部兩側(cè)的震蕩彈簧件,震蕩彈簧件頂端的運轉(zhuǎn)電機組,運轉(zhuǎn)電機組頂端的控制面板,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿和致密防腐桿內(nèi)部內(nèi)側(cè)的攪動孔共同組合而成。推薦的,所述注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐內(nèi)部一側(cè)的嵌入引流口,嵌入引流口一端的負壓引流器,負壓引流器一端的注入量控制容器,注入量控制容器內(nèi)部內(nèi)側(cè)的注入量觀察刻度線和注入量控制容器一側(cè)的限流銷共同組合而成。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本種實用新型的有益效果是:1.通過設(shè)置高效攪拌裝置,該裝置通過運轉(zhuǎn)電機組驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤帶動高效攪拌裝置進行旋轉(zhuǎn)搖勻,高效攪拌裝置內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿,致密防腐桿內(nèi)部的攪動孔能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。2.通過設(shè)置高效攪拌裝置,通過設(shè)置注入量精確調(diào)配裝置,工作人員通過負壓引流器將鹽酸硝酸引向注入量控制容器內(nèi),通過觀察注入量控制容器內(nèi)的注入量觀察刻度線對注入量進行精確控制,當(dāng)?shù)竭_設(shè)定的注入量時將限流銷插入進行限流即可。蝕刻液的主要成分是什么?

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所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發(fā)明的蝕刻液推薦進一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,所述有機硫化合物的濃度為%至10重量%。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%。另外,本發(fā)明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發(fā)明的效果本發(fā)明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦。另外,本發(fā)明的蝕刻液實質(zhì)上不含氫氟酸及過氧化氫,因此毒性低,保存穩(wěn)定性優(yōu)異。具體實施方式本發(fā)明的蝕刻液為含有選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸與選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物的水溶液。所述酸中,從蝕刻速度的穩(wěn)定性及酸的低揮發(fā)性的觀點來看,推薦為硫酸。酸的濃度并無特別限制,推薦為20重量%至70重量%,更推薦為30重量%至60重量%。在酸的濃度小于20重量%的情況下,有無法獲得充分的鈦蝕刻速度的傾向,在超過70重量%的情況下,有蝕刻液的安全性成問題的傾向。哪家公司的蝕刻液的口碑比較好?四川天馬用的蝕刻液蝕刻液費用是多少

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所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設(shè)置有活動板,所述分隔板右端放置有蓄水箱,所述蓄水箱上端靠近右側(cè)連接有進水管,所述回流管下端連接有抽水管,所述抽水管內(nèi)部上端設(shè)置有三號電磁閥,所述裝置主體前端表面靠近右側(cè)安裝有控制面板。作為本發(fā)明的進一步方案,所述分隔板與承載板相互垂直設(shè)置,所述電解池內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計為5°。作為本發(fā)明的進一步方案,所述進液管的形狀設(shè)計為l型,且進液管貫穿分隔板設(shè)置在進液漏斗與伸縮管之間。作為本發(fā)明的進一步方案,所述圓環(huán)塊通過伸縮桿活動安裝在噴頭上方,且噴頭通過伸縮管活動安裝在電解池上方。作為本發(fā)明的進一步方案,所述回流管與進水管的形狀均設(shè)計為l型,所述傾斜板的傾斜角度設(shè)計為10°。作為本發(fā)明的進一步方案,所述活動板前端設(shè)置有握把,活動板與裝置主體之間設(shè)置有鉸鏈,且活動板通過鉸鏈活動安裝在裝置主體前端。作為本發(fā)明的進一步方案,所述控制面板的輸出端分別與增壓泵、一號電磁閥、二號電磁閥和三號電磁閥的輸入端呈電性連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:該回收處理裝置通過在增壓泵下端設(shè)置有回流管,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵并打開一號電磁閥。佛山哪家蝕刻液蝕刻液費用是多少

蘇州博洋化學(xué)股份有限公司坐落在高新區(qū)華橋路155號,是一家專業(yè)的危險化學(xué)品生產(chǎn)(按《安全生產(chǎn)許可證》所列范圍明細生產(chǎn));化學(xué)品銷售(涉及危險化學(xué)品的按《危險化學(xué)品經(jīng)營許可》核定許可范圍經(jīng)營);自營和代理各類商品及技術(shù)的進出口業(yè)務(wù)(國家限定企業(yè)經(jīng)營或禁止進出口的商品和技術(shù)除外)。用于傳染病防治的消毒產(chǎn)品生產(chǎn)(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動)公司。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,以不斷增強企業(yè)重點競爭力,加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,實現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營。公司以誠信為本,業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液,我們本著對客戶負責(zé),對員工負責(zé),更是對公司發(fā)展負責(zé)的態(tài)度,爭取做到讓每位客戶滿意。一直以來公司堅持以客戶為中心、高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液市場為導(dǎo)向,重信譽,保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。

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