溫濕度對產(chǎn)品的質(zhì)量影響很大,例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清理。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。好的凈化工程公司的標(biāo)準(zhǔn)是什么。鄭州化工凈化工程參數(shù)
凈化工程
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:1.煩惱的效應(yīng)由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。2.對工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平,這三個方面是:集中精神,動作準(zhǔn)確性,工作速度;3.對綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能對以上三方面指標(biāo)都用A聲級來評價。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺適,可以代替倍頻帶聲壓級作為評價標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。常州凈化工程設(shè)備凈化工程的使用時要注意什么?
潔凈室的防火分區(qū)根據(jù)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》和《潔凈室設(shè)計規(guī)范》,潔凈室的耐火等級不應(yīng)低于二級一般鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)均滿足二級耐火等級的要求。根據(jù)火災(zāi)危險性,生產(chǎn)分為甲、己、丙、丁四類,制藥行業(yè)的原料藥生產(chǎn)中大量使用汽油、乙醇等有機(jī)溶媒的廠房,如青霉素提煉部位,原料藥廠的非納西汀車間的烴化、回收及電感精餾部位,冰片、皂素、安乃近、維生素B。的精制部位.生產(chǎn)中大量使用乙醇、等有機(jī)溶媒,如青霉索提煉廠房、強(qiáng)力霉素提煉廠房等都屬于甲類。按火災(zāi)危險類別,在平面布置上可確定防業(yè)分區(qū)而積?;馂?zāi)發(fā)生后,半小時內(nèi)溫升極快,不燃結(jié)構(gòu)的火災(zāi)初起階段持續(xù)時間約在5~20mln之內(nèi),起火點(diǎn)尚在局部燃燒,火勢不穩(wěn),有中斷的可能。因而這段時間對于人員疏散、搶救物資極為重要??紤]人群在平地行走速度約為16m/m,樓梯上為10m/mm,附加途中的障礙,若控制疏散距離為50m,約可在4min內(nèi)疏散完畢。當(dāng)然這還需要有明顯的引導(dǎo)標(biāo)志和緊急照明m’疏散距離就是確定安全出口位置的根據(jù)。
國際化日益加強(qiáng),我們近些年建造國外的潔凈室也越來越多,很多國外潔凈室對廣招的強(qiáng)度強(qiáng)度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要求:一是人工光300lx以上有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時,大于500Lx也是允許的。二是對于特殊照明的地方,為了防止感光材料的感光,必須使用黃色或紅色光源的,應(yīng)滿足其特殊要求選用黃色熒光燈管或低壓鈉燈,黃色熒光燈管也有兩種,一種為燈管內(nèi)壁涂黃色熒光粉;另一種為白色熒光燈管外套黃色塑料套管,他們的光通量比一般熒光燈都要低如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—50Lx)。用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。如何正確使用凈化工程的。
氣壓也是潔凈室一個重要的指標(biāo),對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。否則低潔凈區(qū)一段的空氣就會因?yàn)殚_門開窗或者密封不好的情況下通過壓力形式進(jìn)入到高潔凈區(qū),給高潔凈區(qū)行成一定的污染。(特殊情況下除外,例如一些生物潔凈室和污染性強(qiáng)的氣體潔凈室一般采用負(fù)壓形式的負(fù)壓潔凈室。)所以通常情況下,潔凈室的壓力差維持一般應(yīng)符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。潔凈室的壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。哪家的凈化工程性價比比較高?南通藥廠凈化工程標(biāo)準(zhǔn)
如何選擇一家好的凈化工程公司。鄭州化工凈化工程參數(shù)
半導(dǎo)體制造潔凈室一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級要求:一般的是光照制造,還有微環(huán)境,其他的一些大的區(qū)域,包括薄膜等在百級。潔凈度的要求是不是越高越好,這個主要還是決定我們的設(shè)計,或者對生產(chǎn)的要求,潔凈度越高意味著FU覆蓋率會成倍的增加。目前對一些潔凈室的設(shè)計還是大環(huán)境,不需要很高的潔凈度。還有濕度控制,濕度控制主要通過循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng),去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱,終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制,溫度的控制目的有兩個,首先是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒有問題,作為制程來說我們關(guān)注的是波動性??刂茲崈舴康臐穸戎饕康氖菨穸冗^低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過高,對產(chǎn)品的影響。第點(diǎn)是正壓,通過潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓,靜壓層保持微正壓。再來就是照度和噪聲,這個部分在新的標(biāo)準(zhǔn)里面有詳細(xì)的描述,這里不具體進(jìn)了。因?yàn)楝F(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來越大,安裝起來部分照明會被遮掩,聞聲的問題比較難解決,主要在設(shè)備洗型的時怪注意,接下來是靜電控制的問題(SD),這個本身會造成產(chǎn)品的損害或者設(shè)備的損害,半導(dǎo)體有ESD的標(biāo)準(zhǔn)鄭州化工凈化工程參數(shù)
蘇州市華高潔凈技術(shù)有限公司屬于環(huán)保的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。是一家有限責(zé)任公司(自然)企業(yè),隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進(jìn),追求新型,在強(qiáng)化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,良好的質(zhì)量、合理的價格、完善的服務(wù),在業(yè)界受到寬泛好評。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),具有潔凈棚,凈化工程,F(xiàn)FU,貨淋室等多項(xiàng)業(yè)務(wù)。華高潔凈自成立以來,一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認(rèn)可與大力支持。